需要预真空；有的真空泵入口压力低于大气压，真空泵机组有的真空泵不能在大气压下工作。需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，称之为真空泵机组，能使真空系统得到较好的真空度及排气量。应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：一般情况下罗茨－旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。