一．概述

      目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大，真空获得产品已经出现更新换代的局面，大量的有油真空系统已经被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵，螺杆真空泵属于非接触型干式泵，是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种，以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、

无油污染等有点，我国尚处于起步阶段，市场对于干式真空泵有迫切的需求。   

HZG型螺杆真空泵是我公司根据市场需求自主研发的技术先进的干式真空泵，因螺杆真空泵无需油润滑或水密封，泵腔内完全无油，因此，螺杆真空泵在半导体，电子工业中要求无油洁净真空的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优势，另外在变压器干燥过程中旋片泵的换油频繁及寿命问题也可得到解决，所以螺杆真空泵可广泛替代旋片式真空泵，滑阀式真空泵，水环式真空泵，水喷射真空泵，往复式真空泵，罗茨水环真空机组等。

螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵，多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体，带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。

二．结构原理及特点

螺杆式无油机械真空泵又称为干式螺杆真空泵，是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）。该泵与罗茨泵一样不设排气阀。这种类型的泵如果选用适当的较简单螺杆牙型截面，则制造简单，可保证很高的加工精度，且容易动平衡。泵腔内无油，对真空系统无污染，提高产品质量。

    1.泵腔内无油，对真空系统无污染，提高产品质量。

    2.泵腔内无油，解决油乳化及频繁更换工作液、频繁维护和保养等问题，节约使用成本。

    3.干式运行，不会产生废油和油烟，有利环保，节约石油资源。

    4.能抽除大量水蒸气和少量粉尘的气体。增加附件后，能抽除易燃、易爆及放射性等气体。

    5.极限真空达到5Pa,适用于中、低真空，与罗茨泵串联可配成无油中真空抽气机组，与分子泵串联可组成无油高真空机组。
    6.采用防腐涂层处理后，特别适用于变压器，制药、化工工艺中的产品蒸馏、干燥、脱气等使用场合。

三．结构原理及特点

    1.电工：变压器、互感器、环氧树脂真空浇注、电容器真空浸油、真空压力浸渍。
    2.工业炉：真空钎焊、真空烧结、真空退火、真空加压气淬、真空脱羟等。
    3.真空镀膜：真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜、薄膜卷绕连续镀膜、离子镀等。
    4.冶金：特种钢冶炼、真空感应炉、真空脱硫、脱气。
    5.航空、航天：航天搭载飞船轨道舱、火箭姿态调整仓、宇航服、宇航员太空出仓、飞机升空等真空模拟试验。
    6.干燥：变压法真空干燥、煤油气箱干燥、木材干燥、蔬菜冷冻干燥。
    7.化工、制药：产品蒸馏、干燥、脱气、物料输送等。

 

四．技术参数

技术规格表:

 

注意：（1）真空泵前盖和油箱两侧分别加注润滑脂油和真空泵油。设备出厂时配有泵油和润滑脂油。

          （2）上述冷却水量是基于环境温度在20℃时候的用量，使用循环水用量会有所变化。

          （3）上表噪声值是在排气口敞开室内时测下的，如接至室外噪声值比上表低5～10dBA左右。

五．安装说明

 1. 场所

 (1)将泵放置在一个干净、平整、空间足够大的场合。如果必须是在户外安装，那么电机、 V型带和其他部分防护等级应是户外型。

 (2)应该有足够大的空间保证维修维护，如拆卸、重新组装和定期检查等。

 2. 基座：

 (1)考虑到泵的重量和地面的承载力，基座混凝土应该有足够的承载能力，因为如果地面土壤不够坚硬，基座会下沉。混凝土的混合比率应该是1份水泥、2份沙子和四份石子。

 (2)为了使泵顺利理入到混凝土中，基座必须按照泵说明书提供的尺寸预先留孔，并且表面应尽可能平整。

 (3)在检查了混凝土是否坚固后，继续管道系统的安装。

 3. 安装：

(1)根据说明手册将泵平稳安装和放置。

(2)将泵放置在基座上，泵座上的固定孔正对基础预留孔，用碶铁调整泵的水平。

(3)将地脚螺栓放入洞中，再穿过泵座上的孔，安上螺帽。

(4)将地脚螺栓洞里用混凝土浆灌实并将缝隙处用薄泥浆填实，薄泥浆由1份水泥、2份沙子的比例构成，等几天后，水泥浆凝固，然后拧紧螺母。

 4. 管路系统：

 (1)清理进气口和排气口管路，以免生锈，清除灰尘杂质，在泵的吸气口或之上加装40目的过滤网。

 (2)有可能的话在泵的进气口和排气口都加装弹性膨胀节，并且给管路系统做相应支撑。

 (3)消音器安装在排气侧，排气管路尽量畅通。

 (4)泵的进气口安装务必安装一个真空逆止阀，如果安装逆止阀有困难，那么就安装一个闸阀。

 (5)排气管路上会残存着冷凝下来的液体，在泵下面放置回收罐，这样，在操作过程中，当开启排水阀时，冷凝的气体和水就能被收集起来。

 (6)在排水阀下面放置一个接收器，收集废料。

 5.气体冷却

这种冷却的目的是要冷却螺杆和泵体内侧。用此种冷却方法冷却泵的运转过程中气体由于被压缩而造成的高温。在此过程中气体从吸入口吸入，通过螺杆的旋转压缩被输送到排气口，气体被压缩热加热。当排气口气体温度达到130℃至200℃之间时，需要用此种方式降温。在大多数情况下，我们使用空气来冷却，这也是我们设备的标准冷却形式。在空气注入口装有一个空气过滤器来净化进入的空气。只是在要求该泵作为气体传输泵用时，才增加后置冷却器，以保证送出的气体纯度。

（1）净化的参数

型号	流量M3/min	备注
HZG150	0.5	这个渗气参数可根据真空泵 的真空度进行调整
HZG300	0.6
HZG450	0.6
HZG600	0.6

（2）净化的参数

①标准：通过空气过滤器的空气净化；

②利用热传导：利用换热器将生产过程中的气体进行循环；

③利用惰性气体如N₂等等，取代空气或冷却的工业废气。

 6. 净化

 ● 密封净化：这种净化是在泵运行过程中用如N₂等的惰性气体对前端和后端的唇型密封加压，这样流程气体或流体就不能进入到同步齿轮箱和轴承里。可以使用安装在前后端盖子上的两个螺塞中的任一个，作为密封净化的连接。净化气体压力低于0.5kg/cm²。

 ● 清洗净化：这种净化是在停比泵的运转之前，对泵体的内部进行清洗。在停止运转之前，关掉吸气口上的主阀门，通入净化N₂、蒸汽或清洗剂冲洗20到30分钟以便清理泵内的废气和其他有粘性的物料。在抽取腐蚀有毒的气体或粘性物料（如树脂等）的过程中，这步净化非常重要。

 ● 空运转：每个步骤完成之后，仍需将泵在不进气状态下转转10至20分钟。这是为了排除和清理在泵运转过程中产生于泵内的气体，凝缩蒸汽。如果得不到及时清理，残留在泵内的物质会堵塞在泵内，导致泵内的涂层脱落或再次启动泵时电机过载。在这种情况下，需要向泵体和螺杆内通入蒸汽，使凝固物软化，不能试图通过外力使泵运转。

 ● 蒸汽清洗方法（在停止泵的运转之后）

（1）需要蒸汽冲洗的物料：低聚物、单体、聚合物、树脂等；

（2）蒸汽压力：大约为1Kg/cm²;

（3）冲洗过程：

     ①关闭吸气阀、打开排气阀或消声器、分离器阀。

     ②通过泵入口管路或入口法兰上的螺塞喷入1到10分钟时间的蒸汽（喷入时间随过程中产生的物料多少而相应变化）。

     ③用手去旋转轴（皮带或联轴器的），观察泵是否旋转平衡（此时一定要小心，千万不要开启机器）。

     ④如果泵运转平滑，停止注入蒸汽。然后起动机器，检查泵是否运转正常。

 

（ 4）如果经过上述过程后并不满意，重复进行上述操作2至3次。

  

六．使用说明

 1. 操作

（1）开启进气阀，在无负载的情况下打开电源，检查泵的转向，如果正确直接起动，如相反，将电机进线盒上的任意两条电线对调。

（2）在无负载的情况下运转泵20到30分钟，检查泵的不正常的震动和温升。一旦有不正常情况发生，停止操作，查找原因。大多数情况下，原因是不正确的安装或不对中造成的。也有可能是因为使用了不合格的润滑油。

（3）正常负载情况下运转泵2到3个小时，检查每个部位的温度和震动情况。

（4）在操作过程中，注意电流表的指示。如果有不正常的情况发生，立即停止泵的运转并检查原因。经常情况下，原因是转子之间相碰撞或转子的顶部和泵体的内部表面有摩擦。 我们所提供的产品都通过了检验，但仍然有必要重视泵的分解和重装。

 2. 操作过程中需要注意的问题

(1)检查轴承的温度、润滑剂、电流表和冷却水。

(2)按照指定的说明书操作机器。

 3. 停车

（1）关闭吸入口主阀门。

（2）如果有腐蚀性的气体被吸入，则在关闭机器前清理泵的内部。

（3）关闭电机，泵停止工作。

（4）切断冷却水。冬天为防止水冻结，应通过排水阀将水排出。

 4. 润滑油

润滑油必须是质量好和高等级的石化产品，具有抑制氧化、防锈、低的饱和蒸汽压等特性。千万不要用含有任何水成分、硫酸盐、树脂或焦油的润滑油。在市场上可买到的齿轮油一般能满足需求。

 

七．维修和保养

 1. 概论

  （1）在操作过程中，由于压缩产生热，使得温度会升高。但是如果温度只是局部升高，并且夹套外部也热，则是不正常的现象。可能是由于不适当的冷却水供应或切断了冷却水、泵体和螺杆间的摩擦、螺杆间的碰撞或是泵吸收了某些杂质。因此，需要关闭泵，检查异常情况。有时，是因为泵使用了很长时间，螺杆和泵体被腐蚀了，泵的各部位间隙变大，泵的抽气能力比起初降低了，大量被排出的气体返回达到吸入端，这时就需要清理修复这些部件。

 （2）及时记录不正常情况，对轴承温度、震动和噪音作常规性检查。每天做到尽力保养。

 （3）可以通过听诊器监听噪音，记录螺杆间或螺杆与泵体之间的碰撞摩擦。

 （4）在冬天或在冷的地方，无论泵什么时候停止，都要将冷却水排掉。结冰的水会损坏夹套。

   2. 周期性检查

   ● 每日

   （1）油标测量：润滑油过多或过少都会损坏齿轮和轴承
   （2）检查冷却水是否充足。
   （3）检查油脂封盖和前后端盖的温度。方便的话可以使用合适的温度计或表面温差电偶。
   （4）检查吸入和排出压力，确保对泵的操作遵循说明书的规范。
   （5）检查电机的负荷。电机负荷增加时表现出来的不正常现象应记录下来。

   ● 每月

（1）检查V型带的张力。

（2）检查润滑油的成色。（如果油变成黑色，则需更换）。

（3）检查油标水平。如果油急剧减少，则需检查密封件。

   ● 每季度

 检查冷却水的流动和颜色。如果有不对的地方，清理水流过的夹套和水管。

   ● 每半年

（1）检查泵的连接管路。

（2）更换前端齿轮箱的润滑油。

（3）更换后端盖内轴承的油脂。

   ● 每年

（1）检查机械密封（如果装有机械密封）。

（2）检查螺杆和泵体的内表面。拆开吸气管，检查螺杆和泵体的表面涂层。

（3）拆开前盖，检查齿轮和轴承。

 

螺杆真空泵维护保养和检查表

	项目	检查点	每天	3-6个月	每年
1	电机电流表	有什么变化？电流是否异常？	⊙
2	旋转	旋转是否平滑？	⊙
3	吸入和排出压力	压力是否异常？	⊙
4	噪音和震动	是否有不正常噪音和震动？	⊙
5	温度	轴承及其他部位温度有无明显升高？	⊙
6	齿轮箱油量	油是否在适当水平？	⊙
7	润滑油更换	是否该更换润滑油了？		⊙
8	冷却水量和压力	水量是否正常？	⊙
9	吸入管和流出管	压力过高了么？		⊙
10	停车时是否空运转了	空运转发现锈迹或斑点了么？
11	检查泵体和转子涂层	是否有剥落？			⊙

 

 

八．常见故障及消除方法

问题解答

 

 

 

    

 

               

 

 

 

 

 

 

 

 

十、螺杆真空泵拆解图